合肥科晶等离子刻蚀清洗机PCE-500W

名称

500W等离子刻蚀清洗机-PCE-500W

主要参数

• 射频功率：0-500W 

• 总功率：1.5KW 

• 电源：AC220V 50/60Hz

射频电源

• 射频功率可在0-500W之间调节 

• 频率：13.56MHz 

注：可与本公司工作人员联系选购1KW高功率等离子刻蚀清洗机

等离子腔体

• 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高纯石英腔体 

• 铝制折叠式法兰来进行真空密封 

• 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口 

• 此设备完全屏蔽射频辐射，零射频泄漏

控制面板

• 通过6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等 

• 仪器内部安装有一0 - 100ml/minute质量流量计，可精确地控制进气流量

真空泵（选配）

• 仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵 

• 极限真空度为50mTorr

通入气体

• 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定） 

• 不能使用易燃气体及腐蚀性气体。

可选

• 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片 

• 可选购2-4通道质子或浮子混气系统   

产品尺寸

600mm L×600mm W×810mm H

质量认证

CE认证

质保期

• 一年保质期，终生维护 

• 特别提示： 

1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

相关应用

• 请自行根据您的应用测试最佳的等离子功率 

• 对于等离子清洗，根据工艺，通常保持射频功率在10 -100W之间 

• 对于等离子刻蚀，根据工艺，通常保持射频功率在300-500W之间