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小型等离子清洗机PCE-6V合肥科晶产品简介：
PCE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术，采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵，清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，可短时间内彻底清洗掉有机污染物，清洗程度可达到分子级。另外，其样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。此外，其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
小型等离子清洗机PCE-6V合肥科晶产品技术参数：
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主要特点 |
l采用气体作为清洗介质，避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。 l可短时间内彻底清洗掉有机污染物。 l清洗程度可达到分子级。 l可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。 l清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。 l样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。 l广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。
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参数 |
l电压：AC220V 10A l消耗功率：<500W（包括真空泵） lRF电源：输出功率100W，输出频率13.56MHz l腔体：Φ190mm×98mm
l石英管：Φ180mm×55mm，壁厚7mm l内腔：Φ165mm×55mm l清洗电极：Φ120mm l样品台：Φ150mm，有效尺寸Φ140mm l样品台与电极间距：15mm-50mm可调 l抽气管：Φ12mm l极限真空度：0.1Pa l工作真空度：60Pa-500Pa l气路数量：2路（选装） l流量控制器数量：1、2 l流量显示仪：2通道 l气路接口：Φ6mm l加热样品台：Φ140mm，加热样品温度RT-600℃±1℃（选装） l冷却水压力：0.2KPa-0.4KPa l工作环境：温度5℃-35℃，湿度<80%（相对湿度）不结露，海拔高度0-2000m
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产品规格 |
l尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵） l重量：20kg（不含真空泵）
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可选配置 |
l加热样品台 l流量控制器（量程10、50、100，最多可增加2个通道）
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| 浙江孚夏 | 湖南凯达 | 北京博医康 |
| 上海尤尼柯 | 上海雅谭 | 湖南湘仪 |
| 临海真空泵 | 精科天美 | 上海跃进 |
| 上海越平 | 上海亚荣 | 上海康仪 |
| 上海测维 | 其林贝尔 | 北京华兴 |
| 舜宇恒平 | 上海精宏 | 上海安德 |
| 上海黄海 | 上海劲佳 | 雪科电器 |
| 中仪汇丰 | 上海雷磁 | 精科实业 |
| 上海菁海 | 郑州长城 | 上海申安 |
| 上海博迅 | 余姚纪铭 | 精科上分 |
| 美谱达 | 上海三申 | 上海棱光 |
| 宁波新芝 | 上海博泰 | 上海安亭 |
| 中科中佳 | 江苏正基 | 北京六一 |
| 北京四环 | 常州国华 | 大龙仪器 |
| 上海物光 | 上海光谱 | 上海田枫 |
| 德天佑 | 上海良平 | 上海欣茂 |
| 上海昌吉 | 上海般特 | 上海索光 |
| 浙江托普 | 昆山舒美 | 上海科导 |
| 昆山禾创 | 苏州净化 | 苏州安泰 |
| 上海金相 | 上海顾村 | 上海一恒 |
| 青浦沪西 | 上海沪西 | 上海新苗 |
| 上海齐欣 | 奥豪斯 | 日本岛津 |
| 金良天平 | 梅特勒 | 赛多利斯 |
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| 上海森信 | 上海阳德 | 上海培因 |
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| 湖南赫西 | 梅颖浦 | 浙江瑞成 |
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