合肥科晶紫外臭氧清洗机PCE-22

名称

加热型紫外臭氧清洗机--PCE-22

主要参数

·功率：最大350W 

·AC 208~240V，单相 50/60Hz

应用

·去除分子级别的污染物 

·紫外光固化粘合剂

·紫外光催化 

·氧化PDMS 

·表面消毒 

·刻蚀 

·清洗MEMS 器件 

·清洗各种基片，如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片

  紫外灯

·可发出双波长的水银灯 

·功率：55W

·发出光的波长：254 nm 和 185 nm

·使用寿命：2500 小时（可更换） 

·照射区域：200 x 200 mm

腔体&样品台

·不锈钢壳体 

·抽屉式样品台，以便放样取样 

·样品台面积310 mm x 320 mm

·臭氧通风装置安装在腔体上 

·样品台与紫外灯的距离：20mm-40mm（可调） 

·样品台可以加热，最高温度可达150℃ 

·可设置20段升降温程序，控温精度为+/-1℃ 

·设备运行时间：0.01 秒- 99.9小时

 排气口

·直径为80mm的排气口安装在仪器后端 

·请将橡胶管与排气口连接，将臭氧排出到实验室外 

·仪器中不包含橡胶管

环境要求

·仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内 

·温度范围：41-104华氏度 

·最大相对湿度80％，最高87华氏度，104华氏度线性降至50％相对湿度 

·主电源波动不超过额定电压的10％

·污染等级2; 臭氧水平（环境）测量<45 ppb

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

净重

28kg

认证

CE认证

质保期

一年保修，终身技术支持。 

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。