8.5英寸等离子清洗机PCE-80合肥科晶产品简介:
PCE-80是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等)。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。
8.5英寸等离子清洗机PCE-80合肥科晶产品技术参数:
名称 |
等离子清洗机- PCE-80 |
主要参数 |
·最大射频功率: 100 W ·真空泵功率: < 500W ·总功率: < 600W ·电源:AC 220V , 50Hz
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射频电源 |
· 射频功率可在 0 - 100W之间调节 ·频率: 13.56 MH ·可以与本公司工作人员联系将原有电源升级为300W或500W的射频电源,来进行等离子刻蚀或等离子灰化等实验
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等离子腔体 |
·8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体 ·铝制折叠式法兰来进行真空密封 ·法兰上有一个直径为60mm的观察窗口 ·此设备完全屏蔽射频辐射,零射频泄漏
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控制面板 |
·通过6" 彩色触摸屏,可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等 ·仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计,可精确地控制进气流量 |
真空泵(选配) |
·仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵 ·极限真空度为50mTorr |
通入气体 |
·等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定) ·不能使用易燃气体及腐蚀性气体。
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可选 |
·可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片 ·可选购2-4通道质子或浮子混气系统 |
外形尺寸 |
620 L ×600 W ×600 H mm |
认证 |
CE认证 |
质保期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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相关应用 |
·请自行根据您的应用测试最佳的等离子功率 ·对于等离子清洗,根据工艺,通常保持射频功率在10 - 30W之间 ·对于等离子刻蚀,根据工艺,通常保持射频功率在35 - 80W之间 ·可根据要求提供300W高功率射频电源
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