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等离子清洗机PCE-6
 
   
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合肥科晶等离子清洗机PCE-6

输出功率:7.2W、10.2W、29.6W,总功率:<600W,射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节,电源:AC220V 50Hz

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6英寸小型等离子清洗机PCE-6合肥科晶产品简介:
PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

6英寸小型等离子清洗机PCE-6合肥科晶产品技术参数:

名称

6英寸等离子清洗机--PCE-6

 

  

主要特点

 

 

·拥有6英寸清洗腔室,可清洗约5英寸直径的基片 

·通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间 

·时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上 

·设有一个三通阀,可大体控制进气流量 

 

 

  

 

 

主要参数

 

·输出功率:7.2W、10.2W、29.6W 

·总功率:<600W 

·射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节 

·电源:AC220V  50Hz

 

 

 

 

  

 

等离子腔体

 

·高纯石英腔体,Φ160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Φ45mm 的观察窗 

·带观察窗的铰链式门,便于样品加载和观察

  

 

 控制面板

·控制功能:清洁时间,射频功率,真空泵。

 

 

 

 

真空泵(标配)

·真空泵:24L/min,直连式双旋真空泵

 

  

 

等离子清洗机及刻蚀的方法

 

 惰性气体

 

·通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等(根据材料性质选定) 

·等离子清洗机不得使用易燃及腐蚀性气体

 

   

可选配件

 

·如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案,PCE-6等离子清洗机可以2路混气系统组合 

·可以订购石英晶片载体来盛放清洁的基

  

 

外形尺寸

400mm×300mm×300mm

净重

10.2kg

认证

CE认证

 

  

质保期

 

一年保修,终身技术支持。 

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

 

使用注意事项

正压会损坏等离子石英室。

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