6英寸小型等离子清洗机PCE-6合肥科晶产品简介:
PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。
6英寸小型等离子清洗机PCE-6合肥科晶产品技术参数:
名称 |
6英寸等离子清洗机--PCE-6 |
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主要特点
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·拥有6英寸清洗腔室,可清洗约5英寸直径的基片 ·通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间 ·时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上 ·设有一个三通阀,可大体控制进气流量
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主要参数 |
·输出功率:7.2W、10.2W、29.6W ·总功率:<600W ·射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节 ·电源:AC220V 50Hz
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等离子腔体 |
·高纯石英腔体,Φ160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Φ45mm 的观察窗 ·带观察窗的铰链式门,便于样品加载和观察
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控制面板 |
·控制功能:清洁时间,射频功率,真空泵。
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真空泵(标配) |
·真空泵:24L/min,直连式双旋真空泵
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等离子清洗机及刻蚀的方法 |
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惰性气体 |
·通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等(根据材料性质选定) ·等离子清洗机不得使用易燃及腐蚀性气体
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可选配件 |
·如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案,PCE-6等离子清洗机可以与2路混气系统组合 ·可以订购石英晶片载体来盛放清洁的基片
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外形尺寸 |
400mm×300mm×300mm |
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净重 |
10.2kg |
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认证 |
CE认证 |
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质保期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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使用注意事项 |
正压会损坏等离子石英室。 |
浙江孚夏 | 湖南凯达 | 北京博医康 |
上海尤尼柯 | 上海雅谭 | 湖南湘仪 |
临海真空泵 | 精科天美 | 上海跃进 |
上海越平 | 上海亚荣 | 上海康仪 |
上海测维 | 其林贝尔 | 北京华兴 |
舜宇恒平 | 上海精宏 | 上海安德 |
上海黄海 | 上海劲佳 | 雪科电器 |
中仪汇丰 | 上海雷磁 | 精科实业 |
上海菁海 | 郑州长城 | 上海申安 |
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美谱达 | 上海三申 | 上海棱光 |
宁波新芝 | 上海博泰 | 上海安亭 |
中科中佳 | 江苏正基 | 北京六一 |
北京四环 | 常州国华 | 大龙仪器 |
上海物光 | 上海光谱 | 上海田枫 |
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上海昌吉 | 上海般特 | 上海索光 |
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