3英寸迷你型等离子清洗机PDC-36G合肥科晶产品简介:
PDC-36G 等离子清洗机是一种紧凑型、低成本的等离子清洗机。使用空气、氧气、氩气等离子去除纳米级有机物污染。在射频电源的作用下,去除速率最大每分钟10纳米。在单晶材料外延薄膜生长以前进行预处理,对生长具有显著的作用 。
3英寸迷你型等离子清洗机PDC-36G合肥科晶产品技术参数:
名称 |
3"等离子清洗机--PDC-36G |
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视频 |
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主要特点
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·结构紧凑、小型化的桌上型仪器 ·用各种气体清洗和去除晶片上纳米级有机污染物 ·在制膜实验之前预先清洁镀膜基底的优秀工具。清洗后镀膜的质量可以更好 ·铰链式门,方便装样 ·石英腔的直径是3英寸,在里面可以放入一个石英舟,最大清洗一个2英寸的基片 ·清洗腔里面的石英管可以拆卸,方便清洗和更换 ·使用可调射频电源,可以设置功率为低、中、高级别;低成本、操作安全
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主要参数 |
·低功率设定:直流680V,10mA,6.8W ·中功率设定:直流700V,15mA,10.5W ·高功率设定:直流720V,25mA,18W ·射频源输出频率:13.56MHz ·等离子直流电源 ·输入电压:220V,50Hz
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等离子腔室 |
·直径75mmx长200mm的石英墙体,前盖可以开启 ·高纯度石英腔体,使用寿命比玻璃长
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真空计 |
设备标配一个数显电阻真空机用于实时监测清洗仓内的真空度。 |
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可选配件 |
·可以订购额外的石英腔体,用于备用 ·如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案,PDC-36G等离子清洗机可以与2路混气系统组合) ·可以订购石英晶片载体来清洁2英寸晶片
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真空泵和阀 |
·此设备不包含真空泵
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工作气体 |
·多种气体可以用于等离子清洗,例如氮气、氩气、空气、混合气体,主要取决于处理何种材料。 ·可以使用<4%的H2混合惰性气体 ·警示:不能使用可燃性及腐蚀性气体
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等离子清洗及刻蚀的方法 |
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外形尺寸 |
353mm(L)x380mm(W)x225mm (H) |
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净重 |
8kg(不含泵) |
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认证 |
CE认证 |
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质保期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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工作原理 |
等离子清洗机工作原理 |
浙江孚夏 | 湖南凯达 | 北京博医康 |
上海尤尼柯 | 上海雅谭 | 湖南湘仪 |
临海真空泵 | 精科天美 | 上海跃进 |
上海越平 | 上海亚荣 | 上海康仪 |
上海测维 | 其林贝尔 | 北京华兴 |
舜宇恒平 | 上海精宏 | 上海安德 |
上海黄海 | 上海劲佳 | 雪科电器 |
中仪汇丰 | 上海雷磁 | 精科实业 |
上海菁海 | 郑州长城 | 上海申安 |
上海博迅 | 余姚纪铭 | 精科上分 |
美谱达 | 上海三申 | 上海棱光 |
宁波新芝 | 上海博泰 | 上海安亭 |
中科中佳 | 江苏正基 | 北京六一 |
北京四环 | 常州国华 | 大龙仪器 |
上海物光 | 上海光谱 | 上海田枫 |
德天佑 | 上海良平 | 上海欣茂 |
上海昌吉 | 上海般特 | 上海索光 |
浙江托普 | 昆山舒美 | 上海科导 |
昆山禾创 | 苏州净化 | 苏州安泰 |
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