小型三靶等离子溅射仪VTC-16-3HD合肥科晶产品简介:
VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),基片最大尺寸2英寸,加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种材料,金靶,银,铜, 它可以与真空泵,不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用。
小型三靶等离子溅射仪VTC-16-3HD合肥科晶产品技术参数:
设备名称 |
3靶等离子溅射仪-VTC-16-3HD |
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视频 |
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主要参数 |
输入电源:220V 通用 功率:< 1KW 工作电流: 溅射电流:0-50 mA可调 单次工作时间:0-5分钟可调 靶头数目:3个 输出电压:1600V DC 样品台加热温度:500℃(选配)
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溅射腔体 |
l采用石英腔体,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H l密封:O形密封圈密封
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样品台
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l一个外径50 mm 的样品台,用于盛放基片,可以电动控制移动三个位置 l溅射距离:25 - 40毫米可调 l可选购加热型样品台(最高温度可到500℃) lPID控制器控温精度+/- 1℃(已集成到触摸屏上)
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控制面板
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l控制面板为PLC,4.3" 触摸屏 l一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度,电流,靶材位置和基片加热温度
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真空泵(选配) |
l用机械泵真空度达 50 mtorr l用分子泵真空度可达 10-4 torr
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进气口 |
一个精密可调针阀安装在进气口,以实现方便的调节进气量 |
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靶材
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l要求安装靶材的尺寸:直径Φ47mm,厚度0.5-3mm l可在本公司选购靶材,具体请点击链接
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外形尺寸
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460mm×330mm×540mm (L×W×H) 净重:50KG(不包括泵)
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质保期 |
一年保修,终身技术支持。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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质量认证 |
认证 |
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各种靶材的参数(仅供参考) |
对于溅射各种金属靶材,需要摸索最理想的溅射参数,下表是本公司实验所设置的参数
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使用注意事项 |
l由于能量低,该模型不适用于涂层的轻金属材料如Al,Mg,Zn,Ni。请考虑我们的磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机。 l有时为了达到理想的薄膜厚度,可能需要多次溅射镀膜 l为了得到较好的薄膜质量,必须通入高纯气体(建议> 5N) l在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净 l要达到薄膜与基底良好结合,请在溅射前清洁基材表面 l超声波清洗(详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声(2)异丙醇超声-去除油脂(3)吹氮气干燥(4)真空烘箱除去水分。 l等离子清洗(详细参数点击下面图片):可表面粗糙化,可激活表面化学键,可祛除额外的污染物 l制造一个薄的缓冲层(5纳米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以应用于改善金属和合金的附着力
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警告 |
l注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体 l气瓶上应安装减压阀(设备标配不包括),保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下,以安全使用 l溅射头连接到高电压。为了安全,操作者必须在关闭设备前装样和更换靶
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