小型程序控温蒸发镀膜仪GSL-1700X-SPC-2合肥科晶产品简介:
GSL-1700X-SPC-2是一款小型台式程序控温蒸发镀膜仪,可以设定程序,精确控制温度200ºC~1500ºC(或者1200ºC~1700ºC),最大可蒸镀直径2英寸薄膜样品,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。
小型程序控温蒸发镀膜仪GSL-1700X-SPC-2合肥科晶产品技术参数:
名称
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小型程序控温蒸发镀膜仪GSL-1700X-SPC-2
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视频
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操作视频
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结构&特点
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·真空腔体为直径6英寸的石英腔体,便于清洁和放入样品
·安装有一个2英寸的样品台,并且样品台可以旋转,使所制薄膜更加均匀
·采用钨丝篮作为发热源,最高温度可达到1500℃,并且配用专用氧化铝舟,可装入样品
·精确控温:可设置30段升降温程序,控温精度为+/-1℃
·气体流量端口和阀门内置用于腔室净化和CVD可能性
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基本参数
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温度:最高1500℃ (1200℃以上<1h) 建议升温速率:≤20℃/ min (需根据工艺调整)
热偶:B型或者S型热偶 电源:AC220V,50Hz 最大6KW
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温控及加热源
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·采用钨丝篮作为发热源,并且配有专用的氧化铝坩埚,热电偶安装在坩埚底部,以便于温度测量和控制(如图1)
·采用S型热电偶(工作温度为200℃-1500℃)
·可选B型热电偶(工作温度为1200℃-1700℃)
·安装有一个数显的温度控制器:可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1ºC(如图2)
·温度控制器的时间设置以秒为单位,建议将升温/降温速率限制在1200ºC以下0.3ºC/s(20ºC/ min),在1200 - 1500ºC限制到0.15ºC/s(10ºC/min)
·仪器中配有钨丝篮及氧化铝坩埚(如图4图5)
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样品台
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·仪器顶部安装有样品台,直径为Φ50mm,并设置有挡板,方便控制蒸发镀膜时间
·样品台可旋转,增加镀膜均匀性
·样品台和蒸发源之间的距离可以调节,调节范围为:40mm-85mm
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进气口
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·进气接口为1/4NPS,可向真空腔体中通入惰性气体,对腔体进行清洗,也可通入反应气体,进行反应蒸发镀膜
·进气口安装有一针阀,用于调节进气流量
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可选
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·程序控温型四坩埚蒸发镀膜仪-GSL-1700X-EV4(图一)
·仪器中配有钨丝篮及氧化铝坩埚,并用户可额外选购钨丝篮及氧化铝坩埚(图二图三)
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真空计(可选)
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可选购一数显防腐真空计,测量范围为:3.8x10-5-1125Torr
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膜厚检测仪(可选)
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·可在本公司选购精密的石英振动薄膜测厚仪安装在溅射仪上,可实时监测薄膜的厚度,分辨率为0.10 Å (图一)
·LED显示屏显示,同时也输入所制作薄膜的相关数据(图二)
·同时可选购反射光谱薄膜测厚仪--TFMS-LD(图三)
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真空系统(选配)
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·设备上有一KF25接口用于连接真空泵
·采用涡旋分子泵真空可达1.0E-5Torr,极限真空度可达4.0E-6Torr
·双极旋片真空泵或干泵,可使仪器真空腔体的真空度达到10-2Torr
·真空度达到10-2torr时,可蒸发一些贵金属,参考材料金和铂,也可蒸发一些有机材料,可选购数显防腐真空计PCG-554(测量范围3.8x10-5 to 1125 Torr.)
·高真空度可达1.0E-5Torr(采用涡旋分子泵),此时可蒸发对氧敏感的材料,参考材料Al. Mg, Li,分子泵上带有复合真空计(最高可测量真空度为1.0E-7Torr)
·可在本公司选购各种真空泵和真空计
·可选购一个冷真空阱,以避免真空泵造成污染
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外形尺寸
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490mm*330mm*560mm
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质量认证
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·所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。
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质保期
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一年保修,终身技术支持。
特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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使用提示
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·为了获得高真空度,可采用以下做法
(1)使用前要检查密封圈和法兰上是否有异物或划痕,并用酒精擦洗
(2)抽真空时,用外部加热装置将腔体烘烤到200℃,氧化铝坩埚预加热到500℃,保持2小时
·此款蒸镀仪可以放入到手套箱里操作,用于蒸镀一些在常温下对氧气敏感的材料,比如金属Li等,可在本公司选购开启式手套箱VGB-6(点击下图查看详情)
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使用注意事项
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·使用温度高于1300℃时,保温时间不可大于1小时,否则会损坏密封圈
·当腔体的各阀门关闭时,请勿开启升温程序或手动调节电流进行加热
·当仪器正在蒸发材料时,不可打开泄气阀或关闭真空泵,只有当加热温度降至100℃时,才可放气或关闭真空泵
·蒸镀电流不宜大于40A
·如误将控温仪表设为手动状态,程序将不能正常运行
·此设备仪表程序为秒,200℃之前升温速度不宜大于0.5℃/S
如果用户选购了STC-2型薄膜测厚仪,在选用取样片时请按:镀纯金属时用金取样片,镀合金时用银取样片
·钨丝篮必须在真空状态下(<5Pa才能通电加热,否则会被氧化)
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