合肥科晶双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL

名称

1200℃小型双炉体滑动管式炉-TCVD--OTF-1200X-S2-50SL  

炉体结构

·采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使表面温度低于70℃ 

·高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）  

·可选购石英管堵及石英坩埚，可增加炉管内洁净度及真空度（图3-4） 

·设有开门断电功能,提高实验安全性（图5-6） 

·炉底安装一对滑轨，可用手动滑动，炉子可以滑动700mm的距离

图1	图2	图3	图4

图5	图6

基本参数

热偶：K型热偶        炉建议升温速率：≤10℃/min    

温度：1100℃ （1200℃＜1h）     电源：AC220，50Hz   最大3KW

高纯石英管尺寸

·尺寸：50 O.D x 44 I.D x 1500 L (mm)

加热元件

掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层，可以极大程度延长使用寿命）

加热区

每个加热炉加热区长度：200mm

密封法兰

·一对SS 304真空法兰与双高温硅O形环包括在内 

·两个针阀已分别安装在两个法兰上（图一） 

·一个真空压力表安装在一侧法兰（图一） 

·可选：您可以选购kf25真空口法兰（图二） 

·您可以订购法兰支架（图三）

图一	图二	图三

温控系统

·包含一款808P型温度控制器 

·PID自动控温系统 

·智能化30段可编程控制 

·控温精度：±1℃ 

·默认DB9 PC通信连接端口 

·通过MET认证 

可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据。

可选

·可选购电动滑轨（图一） 

·可选购1-9通道混气系统（图二） 

·100W-500W的射频等离子源，与管式炉配合可搭建起等离子增强的加热CVD系统（图三）

图一	图二	图三	图四

温度校准（可选）

·定期对管式炉进行温度校准，可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括： 

·48”L（1/4”OD）K型热电偶校准 

·一Omega温度校准器 

·热电偶补偿线

 你可以考虑分子泵，真空度可达10-5Torr

滑轨

·镀铬钢制成的双滑轨 

·滑轨长度：1600mm 

·滑轨中包含两个个固定装置，用于固定炉子的位置

真空系统（可选）

·用机械泵真空度达 50 mtorr 

·用分子泵真空度可达 10E-4 torr 

尺寸

炉体：340mm L x 330mm W x 400mm H

整体：1600mm L x 430mm W x 500mm H

净重

80Kg

保修期

一年保修，终身技术支持。
特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

认证

所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

使用注意事项

·炉管内气压不可高于0.02MPa 

·由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 

·当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当 

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 

·石英管的长时间使用温度＜1100℃ 

·对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等） 

·提示：最大的加热和冷却速度是通过将炉管的一侧预热到目标温度，然后将炉子滑到另一侧来实现的。 您可以选择将样品放置在预热区域。