合肥科晶近距离蒸发镀膜仪（CSS）炉OTF-1200X-RTP-II

名称

3英寸近距离蒸发镀膜仪（ CSS）炉OTF-1200X-RTP-II

炉体结构&真空腔

·两个独立的加热装置，两个独立控温装置及两路浮子流量计均被精巧的设计在一个可移动的铝合金框架上。 

·腔体是由高纯石英管制成 

·真空法兰由不锈钢制成

基本参数

·石英腔体尺寸：11"O.D×10.8"I.D×9"H mm 

·推荐加热速率：≦10℃/s 

·最高工作温度：≦600℃ 

·总功率：8KW（8根红外灯管，单根功率1KW） 

·电压：AC220V，50Hz，单相（需20A的空气开关）

加热元件和载样台

·由两组红外灯管作为加热元件可实现快速加热 

·两个独立的加热装置之间的距离可调0-70mm 

·为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上 

·一个3"的基片载样台安装腔体顶部 

·紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片（Ф3"×T0.5 mm ），使其仪器使用时样品基片上的温度更加均匀 

·可将AlN陶瓷片更换为石墨片（图3） 

·3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料    

·如需要更换红外灯管（图4）

图1	图2	图3	图4

真空法兰

·真空法兰材质为316不锈钢制作 

·顶部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口 

·底部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口 

·法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵（标配不含机械泵）抽真空度可达10-2 torr，顶部法兰可手动操作进行上下移动来进行加载/卸载衬底和蒸发料。 

·一个防腐型数显式真空表安装在法兰顶部，可精确测量腔体内真空度。

温控系统

·两个数显式温控表都可设置30段控温程序 

·每个温控表都具有PID调节功能，保护加热器不受过热影响同时具有报警功能，避免过热使热电偶损坏 

·该设备可与计算机相连接，可选购控温软件，将温度程序设置和温度曲线导入电脑中。

工作温度

每个加热器最高温度:≦600℃

热电偶

两个K型热电偶分别安装在上下法兰上

混气系统

可选配件

水冷机

外形尺寸

850(L)×745(W)×1615(H) mm

认证

CE认证

应用提示

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警告

·石英管密封采用真空密封，管内可处于微正压但压力要小于0.02MPa。 

·由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。 

·当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。 

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

保修期

一年保修，终身技术支持。 

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。