高真空4"RTP 炉 OTF-1200X-4-RTP-HV合肥科晶产品简介:
OTF-1200X-4-RTP-HV是一款精巧型快速热处理管式炉(4" 石英管), 配有高真空系统(机械泵 +分子泵) ,带KF-D25 真空法兰.它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热,最快升温速度为 50°C/second. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。
高真空4"RTP 炉 OTF-1200X-4-RTP-HV合肥科晶产品技术参数:
炉子 |
结构 |
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加热元件 | 8根红外灯管(D=10 L=300 T =200, mm) | ||||||
工作温度 |
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最快升温速度 | 室温~800℃: 50 oC/sec ,800℃~1000℃ 10oC/sec | ||||||
最快降温速度 | 64°C/min (在真空: 200 mtorr下), 117°C/min (在一个大气压下) | ||||||
加热区 | 4" X12"恒温区( +/-5°C ) | ||||||
温控仪 |
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石英管和样品架 |
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真空法兰 |
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流量计 | 装在前面板上一路流量计调整范围 16 - 160 ml/min | ||||||
电源 |
208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 最大功率12KW. (> 60A 保险) |
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高真空系统 |
结构 |
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真空度 | 6.3E-5 mbar ( 4" RTP 管式炉在 40 minutes内) | ||||||
控制面板 |
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启动时间 | 2 minutes | ||||||
前级泵在10mbar下的流速 | 3.8 L/min 50Hz , 4.4 L/min 60Hz | ||||||
电源 | 110V AC 和220V AC 任意切换, 50/60Hz | ||||||
功率 | 最大: 110Watt | ||||||
包装 | 重量和尺寸 |
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保修期和认证 | 电气部分一年保修期. (耗材:如石英管,"O"圈和加热灯管等不在保修范围内) CE 认证 |
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国家专利 |
专利名称:一种快速高温退火炉 专利编号:ZL-2011-2-0077168.4 尊重创新,鄙视抄袭,侵权必究 |
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使用注意事项: |
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浙江孚夏 | 湖南凯达 | 北京博医康 |
上海尤尼柯 | 上海雅谭 | 湖南湘仪 |
临海真空泵 | 精科天美 | 上海跃进 |
上海越平 | 上海亚荣 | 上海康仪 |
上海测维 | 其林贝尔 | 北京华兴 |
舜宇恒平 | 上海精宏 | 上海安德 |
上海黄海 | 上海劲佳 | 雪科电器 |
中仪汇丰 | 上海雷磁 | 精科实业 |
上海菁海 | 郑州长城 | 上海申安 |
上海博迅 | 余姚纪铭 | 精科上分 |
美谱达 | 上海三申 | 上海棱光 |
宁波新芝 | 上海博泰 | 上海安亭 |
中科中佳 | 江苏正基 | 北京六一 |
北京四环 | 常州国华 | 大龙仪器 |
上海物光 | 上海光谱 | 上海田枫 |
德天佑 | 上海良平 | 上海欣茂 |
上海昌吉 | 上海般特 | 上海索光 |
浙江托普 | 昆山舒美 | 上海科导 |
昆山禾创 | 苏州净化 | 苏州安泰 |
上海金相 | 上海顾村 | 上海一恒 |
青浦沪西 | 上海沪西 | 上海新苗 |
上海齐欣 | 奥豪斯 | 日本岛津 |
金良天平 | 梅特勒 | 赛多利斯 |
江南永新 | 彼爱姆 | 上海三信 |
上海森信 | 上海阳德 | 上海培因 |
上海尚材 | 合肥科晶 | 上海和泰 |
湖南赫西 | 梅颖浦 | 浙江瑞成 |
华志 | 上海司乐 | 德安特 |
保定雷弗 | 北京中惠普 |