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高真空4
 
   
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合肥科晶高真空4"RTP 炉 OTF-1200X-4-RTP-HV

加热元件:8根红外灯管(D=10 L=300 T =200, mm) ,工作温度: 最高1100°C ,炉子可以加热到1100°C, 可以打开上盖进行快速冷却

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高真空4"RTP 炉 OTF-1200X-4-RTP-HV合肥科晶产品简介:
OTF-1200X-4-RTP-HV是一款精巧型快速热处理管式炉(4" 石英管), 配有高真空系统(机械泵 +分子泵) ,带KF-D25 真空法兰.它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热,最快升温速度为 50°C/second. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。

高真空4"RTP 炉 OTF-1200X-4-RTP-HV合肥科晶产品技术参数:

 

 

 

 

 

 

 

 

炉子


结构
  • Compact 4“ RTP Tube Furnace(双层莫来石钢构)
  • 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命
加热元件 8根红外灯管(D=10 L=300 T =200, mm)

 

 

工作温度

  • 最高1100°C
  • 炉子可以加热到1100°C, 可以打开上盖进行快速冷却
最快升温速度 室温~800℃: 50 oC/sec ,800℃~1000℃ 10oC/sec
最快降温速度 64°C/min (在真空: 200 mtorr下), 117°C/min (在一个大气压下) 
加热区  4" X12"恒温区( +/-5°C )

 

 

 

 

温控仪

  • PID 自动控制,30段程序带过热和断偶保护功能
  • 热偶: K type
  • 自整定功能
  • 控温精度: +/- 0.5°C
  •  RS485 串口和温控软件
控制芯片 + 数据线 + 软件 软件界面 温度曲线

 

石英管和样品架

  • 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
  • 3" 的样品架固定在滑动法兰上,石英材料
  •  一片3"  AlN 片放在样品架上用来放置需要退火的样品。
  • AlN 具有很高的热导率,所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性。
真空法兰
  • 带KF-D25 高真空法兰由不锈钢制作,两个高温“O”型圈密封,.
  • 滑动法兰使装载样品很容易. 3" 样品架和内插式热偶保证了温度的准确。
  • 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计测量其真空度,其测量范围为3.8x10-5 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)
流量计 装在前面板上一路流量计调整范围 16 - 160 ml/min
电源

208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 

最大功率12KW. (> 60A 保险)

 

 

 

 

 

 

高真空系统

结构
  • 移动架尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(W), mm
  • 最大承重:       600 Lbs 
  • 分子泵控制面板 :   LCD 显示
  • 前级泵 和  分子泵 安装在移动架里面.
真空度 6.3E-5 mbar ( 4" RTP 管式炉在 40 minutes内)
控制面板
  • 一键操作 - 按一下“start"键,前级泵和分子泵便开始工作.
  • 系统控制转速 - 根据真空度和腔体的漏气情况自动调整转速.
  • 自保护功能 - 如果真空腔体漏气率太高不能达到高真空,系统会自动保护,避免因过热或过流而造成损坏。
  • LCD 显示屏 - 双线性参数检查界面,使操作更简单.
自测试 旋转状态
启动时间 2 minutes
前级泵在10mbar下的流速 3.8 L/min   50Hz , 4.4 L/min  60Hz
电源 110V AC 和220V AC 任意切换, 50/60Hz
功率 最大: 110Watt
包装 重量和尺寸
  • RTP 炉子: 110 lbs,  760 x 330 x 530mm (30" x 13" x 21" inch) L x W x H
  • 高真空系统: 40 lbs,  600 x 600 x 700mm (24" x 24" x 28") L x W x H
保修期和认证 电气部分一年保修期. (耗材:如石英管,"O"圈和加热灯管等不在保修范围内)
  CE 认证

 

国家专利

专利名称:一种快速高温退火炉 

专利编号:ZL-2011-2-0077168.4

尊重创新,鄙视抄袭,侵权必究

使用注意事项:
  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
  • 石英管的长时间使用温度<1100℃
  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

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