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1200℃ 管式CVD炉OTF-1200X-S-FB
 
   
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合肥科晶1200℃ 管式CVD炉OTF-1200X-S-FB

温度:最高1200℃ (长期1100℃),建议升温速率:≤10℃/min ,热偶:K型热偶,电源:220V,最大功率:1.2KW

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1200℃ CVD炉OTF-1200X-S-FB合肥科晶产品简介:
OTF-1200X-S-FB是一款流化床立式管式炉,专门针对粉末表面沉积的CVD实验,炉管为高纯石英管,炉管内部嵌有一多孔石英板,石英板的孔径为5-15um.粉末可放在多孔石英板上,气体可从炉管下端通入,通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域,进行沉积实验。

1200℃ CVD炉OTF-1200X-S-FB合肥科晶产品技术参数:

名称

1200℃小型流化床CVD炉FBCVD适用于粉末样品

 

 

 

视频

               操作视频

 

 

 

炉体结构

 

 

l采用双层壳体结构并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于60℃ 

l炉体设计为开启式,以方便与更换炉管 

l采用高纯氧化铝作为炉膛材料,炉膛表面涂有美国进口高温氧化铝涂层可以提高加热效率和炉膛使用寿命

  

 

 

 

 

 

基本参数

 

温度:最高1200℃ (长期1100    

建议升温速率:≤10℃/min   

热偶:K型热偶       

电源:220V   

最大功率:1.2KW

 

 

 

 

 

流化区域

 

 

l反应气体均匀地通过反应区 

l固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内 

l炉体设计为开启式,当实验结束后,可将炉体打开,拿出石英管,取出反应后的颗粒。 

l注意:在通入气体悬浮起样品颗粒时,也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区,所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量

 

 

 

 

 

 

炉管&多孔石英板

 

l孔径:10-15微米 

l尺寸:φ22mm x 4mm 厚

     

炉管尺寸和材料

 

l采用高纯特质石英炉管 

l炉管尺寸:两端Φ25mm(中间Φ50mm);长482mm

 

加热区

加热区长度:200mm

加热元件

掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层,可以极大程度延长使用寿命)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

温控系统

 

l包含一款YD518P型温度控制器 

lPID自动控温系统 

l智能化30段可编程控制 

l控温精度:±1℃ 

l默认DB9 PC通信连接端口 

l通过MET认证 

l可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据。

 

密封法兰

仪器中配有一对不锈钢密封法兰,上面安装有不锈钢截止阀和机械压力表

 

 

 

 

可选

 

为了良好的控制气体流量,可选配下面浮子或质子流量计

外形尺寸

340mm×300mm×1300mm ( W x L x H)

净重

约20 kg

 

 

 

质保期

 

一年保修,终身技术支持。
特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

 

 

 

 

 

真空度

 

l真空泵可选

 

 

 

 

 

 

质量认证

 

  • 所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

使用注意事项

 

 

l在通入气体悬浮起样品颗粒时,也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区,所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量 

l炉管内气压不可高于0.02MPa 

l由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 

l石英管的长时间使用温度<1100℃ 

l当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当 

l进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的气流对热管的冲击 

l对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

 

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