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1200℃三温区旋转CVD管式炉OTF-1200X-5L-R-CVD
 
   
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合肥科晶1200℃三温区旋转CVD管式炉OTF-1200X-5L-R-CVD

温度:1100℃ (1200℃<1h), 建议升温速率:≤10℃/min,热偶:K型热偶,电源:AC208-240,50Hz 最大4KW,加热区长度:600mm, 三温区:150mm+300mm+150mm

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1200℃三温区旋转CVD管式炉OTF-1200X-5L-R-CVD合肥科晶产品简介:
OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋转CVD炉。炉体有3个加热区,可提高温度均匀性,同时配有4通道的精密混气系统。此款管式炉设计主要用于电池粉体材料表面包覆或其他粉体材料表面修饰。

1200℃三温区旋转CVD管式炉OTF-1200X-5L-R-CVD合肥科晶产品技术参数:

名称

1200℃ 5英寸三温区可倾斜旋转CVD系统

 

 

 

 

 

 

炉体结构

 

·采用双层壳体结构,并带有风冷系统  

·高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命)  

·一个直流电机驱动炉管转动,转速为可调 

·炉体开启式设计,方便更换炉管 

·炉体可以倾斜,倾斜角度可调 

·设有开门断电功能,提高实验安全性  

  

 

 

 

基本参数

 

温度:1100℃ 1200℃1h     建议升温速率10℃/min 

热偶:K型热偶       电源:AC208-240,50Hz   最大4KW 

加热区长度:600mm  三温区:150mm+300mm+150mm

 

 

 

 

 

 

炉管尺寸

 

异型石英管,内部焊接有扬料板,使粉体烧结更加充分和均匀 

尺寸:100 mm OD x 1200 mm L (异型管) 

 

  

加热元件

掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层,可以极大程度延长使用寿命)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

温控系统

 

·三个温区分别有三个独立的温控系统控制 

·包含一款YD518P型温度控制器 

·PID自动控温系统 

·智能化30段可编程控制 

·控温精度:±1℃ 

·默认DB9 PC通信连接端口 

·通过MET认证

·可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

 

 

 

 

炉体倾斜角度

 

可调范围:-5° -  25°

 

 

 

气密配件

 

采用磁流体法兰密封

 

 

 

 

进气系统

 

·四通道精密气体混合和输送系统,配有触摸屏,用于1-4种气体CVD 

·注意:如果通入的是易燃易爆型气体,必须将设备安装在通风柜中

 

 

外形尺寸

 

·设备尺寸:1950mmX 600mmX 1320mmH 

·混气系统:600mmX 750mmX 700mmH

 

净重

 回转炉:约130 Kg

 

 

 

 

 

 

使用提示

 

·此套设备可以配合本公司连续送料装置来达到连续进料的效果(图一、二) 

·收集粉末需要在密封容器中传送的情况,可以在我公司购买与炉一起安装的密封装置。这种装置包括带内螺纹法兰、柔性波纹管、直角管、带有蝶形阀的容器和支撑架。客户可以很简单的将带有蝶阀的收集罐与设备断开链接,并在运输过程保持密封。点击下列图片查看详情(图三)

   
         图一                  图二               图三

 

 

 

 

质保期

 

一年保修,终身技术支持。
特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

真空系统

 

·通过机械泵可达到10E-2 Torr 

·通过分子泵泵可达到10E-5 Torr 

·可选购一个冷真空阱,以避免真空泵造成污染

 

 

 

 

国家专利

 

专利名称:一种可倾斜式回转炉 

专利编号:ZL-2011-2-0162234.8 

尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究

 

 

 

 

 

 

质量认证

 

·所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

 

 

 

 

 

 

 

使用注意事项

 

·炉管内气压不可高于0.02MPa 

·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 

·当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当 

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 

·石英管的长时间使用温度<1100℃

 ·对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

 

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