合肥科晶1200℃三温区旋转CVD管式炉OTF-1200X-5L-R-CVD

名称

1200℃ 5英寸三温区可倾斜旋转CVD系统

炉体结构

·采用双层壳体结构，并带有风冷系统  

·高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）  

·一个直流电机驱动炉管转动，转速为可调 

·炉体开启式设计，方便更换炉管 

·炉体可以倾斜，倾斜角度可调 

·设有开门断电功能,提高实验安全性  

基本参数

温度：1100℃ （1200℃＜1h）     建议升温速率：≤10℃/min 

热偶：K型热偶       电源：AC208-240，50Hz   最大4KW 

加热区长度：600mm  三温区：150mm+300mm+150mm

炉管尺寸

异型石英管，内部焊接有扬料板，使粉体烧结更加充分和均匀 

尺寸：100 mm OD x 1200 mm L （异型管） 

加热元件

掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层，可以极大程度延长使用寿命）

温控系统

·三个温区分别有三个独立的温控系统控制 

·包含一款YD518P型温度控制器 

·PID自动控温系统 

·智能化30段可编程控制 

·控温精度：±1℃ 

·默认DB9 PC通信连接端口 

·通过MET认证

·可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

炉体倾斜角度

可调范围：-5° -  25°

气密配件

采用磁流体法兰密封

进气系统

·四通道精密气体混合和输送系统，配有触摸屏，用于1-4种气体CVD 

·注意：如果通入的是易燃易爆型气体，必须将设备安装在通风柜中

外形尺寸

·设备尺寸：1950mmL X 600mmW X 1320mmH 

·混气系统：600mmL X 750mmW X 700mmH

净重

 回转炉：约130 Kg

使用提示

·此套设备可以配合本公司连续送料装置来达到连续进料的效果（图一、二） 

·在收集粉末时需要在密封容器中传送的情况下，可以在我公司购买与炉管一起安装的密封装置。这种装置包括带内螺纹法兰、柔性波纹管、直角管、带有蝶形阀的容器和支撑架。客户可以很简单的将带有蝶阀的收集罐与设备断开链接，并在运输过程保持密封。点击下列图片查看详情（图三）

图一	图二	图三

质保期

一年保修，终身技术支持。
特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

真空系统

·通过机械泵可达到10E-2 Torr 

·通过分子泵泵可达到10E-5 Torr 

·可选购一个冷真空阱，以避免真空泵造成污染

国家专利

专利名称：一种可倾斜式回转炉 

专利编号:ZL-2011-2-0162234.8 

尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究

质量认证

·所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

使用注意事项

·炉管内气压不可高于0.02MPa 

·由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 

·当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当 

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 

·石英管的长时间使用温度＜1100℃

 ·对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）