合肥科晶1100℃快速热处理炉GSL-1100X-RTP50

结构特点

• 配置单端封口石英管，一滑轨安装在右侧法兰处用于炉管的手动移动

• 管子一端安装真空法兰，真空度用分子泵可以到10-5Torr，机械泵可到10-3Torr。

• 法兰处可插入一根直径1/4”热偶用来监测管内实际温度

工作电源

• 电压：AC208-240V，50/60Hz

• 功率：2.5KW

最高工作温度

• 1100℃

温度精度

• ±1℃

加热区长度

• 152mm

恒温区

• 100mm（±1℃）

加热元件

• 硅碳棒4根

热电偶

• 2个S型热电偶：1根用于测量和控制炉体温度，1根用于监测炉管内样品的实时温度

温度控制

• 两个温区分别由两个独立的温控系统控制

• 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序

• 设置有超温和断偶保护

• 控温精度为±1℃

• 设备面板上带有RS485通讯接口

• 可选购PC控制模块，可采用电脑来设置和显示温度曲线

加热和冷却速率

加热速率:

30°C/sec (RT - 500°C);

12°C/sec (500°C - 800°C);

5°C/sec (800°C - 900°C);

3.6°C/sec (900°C - 1000°C);

1°C/sec (1000°C - 1100°C);

冷却速率:

16°C/sec (1100°C - 800°C);

9°C/sec (800°C - 600°C);

5°C/sec (600°C - 500°C);

3.6°C/sec (500°C - 400°C);

2.5°C/sec (400°C - 300°C);

炉管尺寸

• 单端封口高纯石英管

尺寸：50mm OD×44mm ID×304.8mm L

最高工作温度：1100℃（常压下）

                              1000℃（真空下）

• 可选：CF高真空法兰

最高温度：1000℃，10-6Torr

滑轨

• 镀Cr厚钢板做的双向滑轨

• 滑动长度：350mm

密封法兰

• 管子一端安装真空法兰，标配一机械压力表

• 法兰处可插入一根直径1/4”热偶用来监测管内实际温度

真空度

• 取决于所选真空泵（真空泵不在标配中）

• 10-5Torr（采用分子泵）

• 10-2Torr(采用机械泵)

产品尺寸

• 400mm L×305mm W×530mm H

产品重量

• ~45kg

质保期

• 一年保质期，终生维护（加热元件、石英管、密封圈等耗材不在保修范围内）

质量认证

• CE认证

使用注意事项

• 炉管内气压不可高于0.02MPa

• 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

• 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

• 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

• 石英管的长时间使用温度＜1100℃

• 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

应用注意事项

• 可利用此设备DIY构建快速热蒸发以及物理化学气相沉积工艺，如下图：