合肥科晶三温区管式炉GSL-1100X-III-D11

特点

• 双管设计：外管直径Φ280mm，内管直径Φ254mm，箔材可以缠绕在内管外壁上，然后进行CVD生长
• 手动操作送管器，可以轻松的将内管送入和移除外管
• 900mm长的恒温区可提供7000cm^2的管状生长区域

加热区&温度控制

• 三个加热区：（总加热区长度：1230mm）
• 温区1: 410mm  (16")
• 温区2: 410mm  (16")
• 温区3: 410 mm (16")
• 三个温区都采用PID方式控制温度，可设置30段升降温程序，控温精度为+/- 1℃
• 热电偶：Omega K型铠装热电偶

工作温度

• 最高工作温度：1100℃（小于1小时）
• 连续工作温度：1000℃

最高升温速率

• 10℃/min  (RT~800℃)
• 5℃/min (800~1100℃)

输入电源

• AC 380VAC三相, 50/60 Hz 
• 最高功率24 KW 

炉管

• 两根高纯石英管
  外管尺寸： 280mm O.D. x 270 mm I.D. x 2070 mm L
  内管尺寸：254mm O.D. x  244 mm I.D. x 2310 mm L

真空密封法兰

• 配有一套304不锈钢密封法兰，采用硅胶密封圈密封
• 右端法兰采用KF25接口用于连接真空泵
• 左端法兰采用1/4英寸的卡套接头，用于通入反应气体
• 一个机械压力表安装在左端法兰上
• 两端法兰上都安装有石英管堵，可保证管式炉的恒温区
• 真空度: 10^-2 torr（采用机械泵）; 10^-4 torr （采用分子泵）

送管器

• 手动操作送管器，可以轻松的将内管送入和移除外管
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仪器尺寸

   5400L x 770W x 1500H mm（包含送管器）

重量

   600 kg

质保期

   一年质保期，终生维护（不包含炉管，加热元件和密封圈）

质量认证

•  CE认证
• 所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证
• 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
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警示

• 炉管为高纯石英炉管，设计只能在真空或常压环境下使用，所以炉管内部气压需＜0.02MPa
• 若要向炉管内通入气体，所用气瓶上必须安装减压阀，可在本公司购买减压阀
• 当设备使用温度高于1000℃时，炉管内部不可处于真空状态
• 如要大量通入可燃性气体，如H2或CH4，请与本公司联系，为保证安全建议在通风柜中操作，房间内安装H2和CH4探测器

可选配件

• 可在本公司购买生长石墨烯的铜箔（150m m L x 150mm w x 25um t）
• 可在本公司选购辊压机，对石墨烯进行干法转移
• 可选购小型气液混合器，进行CVD生长
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