作为材料刻蚀,沉积 和生长领域的佼佼者,牛津仪器等离子技术公司为多种应用材料的微,纳米工程提供加工手段和技术。这些应用包括半导体,光电子,高亮度发光二极管(HBLED),微电机系统(MEMS),微流体息统, 高质量光学镀膜以及纳米技术中的其他应用。
我们的设备与工艺技术专家将参加Semicon China 展览,他们将与您讨论您的具体设备和工艺要求,并向您展示我们如何提供您所需要的解决方案。
我们的产品范围涵盖适于研发的单台设备,小批量生产设备,以及大批量生产所需的全自动样品传输的组合加工设备。
我们的生产设备备有200mm ,300mm 和多片衬底批量加工的各种模块,为大量的工艺流程提供优异的均匀性和流片速度。
我们热情的期待您光临第4301号展台,以进一部了解我们的高质量产品和优异的技术支持和服务。
我们恭候您的光临惠顾。
关于牛津
牛津仪器公司于1959年创建于英国牛津,现已成为世界领先的科学仪器跨国集团公司,是光谱仪、测厚仪、能谱仪、等离子设备、超导超低温产品、核磁共振仪、低温泵压缩机、X射线管等方面的专家,拥有分布于英国、美国、芬兰、丹麦、德国和中国的十几个工厂以及遍及全球的分公司或办事处。
具体产品信息请参见牛津仪器公司中文网站及英文网站:
www.oichina.cn
www.oxford-instruments.com
牛津仪器(上海)有限公司 电话: (021) 64908280 传真: (021) 64904042
牛津仪器上海代表处 电话: (021) 61329688 传真: (021) 63608535
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